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哈工大研发的“真空用超高精度激光干涉仪”已完成初试

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发表于 2023-4-28 08:46:10 | 显示全部楼层 |阅读模式
哈工大研发的“真空用超高精度激光干涉仪”已完成初试，位移分辨率高达5pm，位移测量标准达到30pm，关键指标表现和ASML至高水准相差无几，符合EUV双工件台对该技术的精度要求。用于制造28nm芯片的“DUV光刻机超高精度激光干涉仪”位移分辨率原本只有77pm，我国将其提升15.4倍，实现对西方技术的赶超。
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 楼主| 发表于 2023-4-28 09:10:19 | 显示全部楼层
国防七子很快就会突破封锁，让英特尔、台积电、三星关门大吉～
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