哈工大研发的“真空用超高精度激光干涉仪”已完成初试

network · 发表于 2023-4-28 08:46:10

哈工大研发的“真空用超高精度激光干涉仪”已完成初试，位移分辨率高达5pm，位移测量标准达到30pm，关键指标表现和ASML至高水准相差无几，符合EUV双工件台对该技术的精度要求。用于制造28nm芯片的“DUV光刻机超高精度激光干涉仪”位移分辨率原本只有77pm，我国将其提升15.4倍，实现对西方技术的赶超。

network · 发表于 2023-4-28 09:10:19

国防七子很快就会突破封锁，让英特尔、台积电、三星关门大吉～

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